Chi­na star­tet Pro­duk­ti­on eige­ner DUV‑Lithografie‑Maschinen und greift ASMLs Mono­pol an

  • Chi­na stellt erst­mals eige­ne Immersi­ons­‑­DU­V‑­Li­tho­gra­fie-Maschi­nen her – ein Chip­fer­ti­gungs­werk­zeug, das bis­her fast aus­schließ­lich von ASML gelie­fert wur­de.
  • Ers­te Lie­fe­run­gen sol­len noch 2026 an gro­ße chi­ne­si­sche Chip­pro­du­zen­ten gehen, dar­un­ter SMIC, Hua Hong und Chan­gXin Memo­ry Tech­no­lo­gies.
  • ASML-Aktie fällt um 4,6 % nach Ver­öf­fent­li­chung des Berichts.
  • Der Her­stel­ler bleibt anonym, da das Pro­jekt poli­tisch sen­si­bel ist.
  • Die neu­en chi­ne­si­schen DUV-Sys­te­me sind noch leis­tungs­schwä­cher und weni­ger zuver­läs­sig als ASMLs Model­le; umfang­rei­che Tests sind nötig.
  • Pro­duk­ti­ons­vo­lu­men bleibt zunächst gering: etwa 5 Maschi­nen in 2026, rund 20 im Jahr 2027.
  • DUV‑Immersionsmaschinen sind für Chi­na aktu­ell die fort­schritt­lichs­ten ver­füg­ba­ren Litho­gra­fie-Sys­te­me, da der Zugang zu EUV‑Technologie durch Export­kon­trol­len blo­ckiert ist.
  • Chi­na arbei­tet par­al­lel an einer eige­nen EUV‑Maschine, die jedoch noch im Pro­to­typ­sta­di­um steckt.
  • Die Ent­wick­lung könn­te Chi­na stra­te­gi­sche Unab­hän­gig­keit ver­schaf­fen, wäh­rend die USA über noch stren­ge­re Export- und Ser­vice­be­schrän­kun­gen für Litho­gra­fie­an­la­gen nach­den­ken.

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